在后端的金屬互聯(lián)工藝?yán)?，業(yè)界開始應(yīng)用一些新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，比如說空氣隔離技術(shù)，可以用來彌補(bǔ)低K材料的不足?？諝飧綦x可以使用PECVD工藝在非常高的沉積速率的條件下產(chǎn)生。實(shí)驗(yàn)證明，山東LED顯示屏空氣隔離技術(shù)可以將RC降低。當(dāng)前，半導(dǎo)體業(yè)界對(duì)3D芯片的重視越來越多，主要是因?yàn)檫@種芯片能夠?qū)⑦壿嬏幚砥骱痛尜A器集成在一起，而空氣隔離技術(shù)能夠降低這種芯片的信號(hào)傳輸延遲效應(yīng)，提高芯片性能，所以空氣隔離技術(shù)在未來具有非常廣闊的應(yīng)用前景。

　　山東LED顯示屏集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程

　　山東LED顯示屏集成電路制造是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的核心基礎(chǔ)，是高度技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中處于基石的位置。中國(guó)在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)中的份額從2000年的7%持續(xù)快速增長(zhǎng)，到2015年占比達(dá)到45%。當(dāng)前，我國(guó)大陸集成電路制造產(chǎn)業(yè)正處于高速發(fā)展期，在銷售規(guī)模、技術(shù)升級(jí)、產(chǎn)能擴(kuò)展和規(guī)劃新生產(chǎn)線建設(shè)方面都取得顯著進(jìn)展，是全球集成電路產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)最快的地區(qū)，也是全球半導(dǎo)體貿(mào)易最活躍的區(qū)域。但是，當(dāng)前我國(guó)大陸集成電路制造業(yè)規(guī)模占全球不到10%，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的裝備、材料及關(guān)鍵零部件在全球的占比均不到1%，制造技術(shù)水平與國(guó)際先進(jìn)工藝技術(shù)還有3代差距的事實(shí)與我國(guó)作為集成電路消費(fèi)大國(guó)的地位嚴(yán)重不匹配。

　　2017年我國(guó)集成電路制造業(yè)的銷售規(guī)模為1448.1億元，同比增長(zhǎng)28.5%，占我國(guó)電路產(chǎn)業(yè)鏈的比重為26%。整個(gè)“十二五”期間我國(guó)集成電路制造業(yè)的年復(fù)合平均增長(zhǎng)率達(dá)到15.3%的高水平，2011～2017年年均復(fù)合增長(zhǎng)率為22.35%，特別是近3年均以超過25%的速度高速增長(zhǎng)，增速在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中保持第一，為我國(guó)建設(shè)自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。從集成電路制造的業(yè)態(tài)來看，當(dāng)前我國(guó)集成電路制造企業(yè)以純晶圓代工企業(yè)為主。從技術(shù)發(fā)展水平來看，當(dāng)前國(guó)內(nèi)集成電路制造產(chǎn)業(yè)正處于加快45/40 nm技術(shù)產(chǎn)能擴(kuò)充，32/28 nm技術(shù)量產(chǎn)并逐漸形成規(guī)模生產(chǎn)力，16/14 nm完成研發(fā)并進(jìn)入客戶產(chǎn)品導(dǎo)入階段，預(yù)計(jì)2019年形成量產(chǎn)能力。國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的山東LED顯示屏制造企業(yè)也已經(jīng)積極投入10 nm以下技術(shù)研發(fā)。得益于我國(guó)集成電路市場(chǎng)規(guī)模的快速增長(zhǎng)，越來越多的國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)躋身全球前列。十二五以來，在我國(guó)各地紛紛建設(shè)集成電路制造工廠 ，集成電路制造業(yè)呈現(xiàn)出一派繁榮的景象。

但是，與表面繁榮相對(duì)的是山東LED顯示屏集成電路產(chǎn)業(yè)與世界全面的差距，特別是2018年中興事件的發(fā)生，讓全國(guó)上下對(duì)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀有了清晰的認(rèn)識(shí)。