中微公司收到兆馳股份52腔MOCVD設(shè)備采購訂單
來源：司令 發(fā)布日期
2022-03-29 瀏覽：
資料顯示，兆馳半導(dǎo)體是兆馳股份的全資子公司，位于江西省南昌市高新開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)從事LED外延片和芯片的研發(fā)、生產(chǎn)的高科技企業(yè)，總投資100億元，占地約500畝，一期建筑面積約27萬多平方米。
據(jù)悉，今年3月17日，兆馳股份曾發(fā)布公告宣布計(jì)劃投資50億元，在南昌高新區(qū)投資建設(shè)MiniLED芯片及RGB小間距LED顯示模組項(xiàng)目。其中，設(shè)備投資約25億元。
該項(xiàng)目計(jì)劃采購52腔MOCVD設(shè)備及相應(yīng)產(chǎn)能芯片及配套設(shè)備用于生產(chǎn)氮化鎵MiniLED芯片，同時(shí)新增300-500條采用COB技術(shù)的小間距LED顯示模組產(chǎn)線。項(xiàng)目預(yù)計(jì)于2023年完成設(shè)備安裝調(diào)試并正式投入運(yùn)營(yíng)。
據(jù)介紹，Prismo UniMax®是中微公司于2021年6月發(fā)布的用于高性能MiniLED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備，該設(shè)備在同一系統(tǒng)中可配備多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，并配置了多區(qū)溫度補(bǔ)償加熱系統(tǒng)，具備優(yōu)異的波長(zhǎng)均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性。
中微公司MOCVD設(shè)備優(yōu)化設(shè)計(jì)的噴淋頭實(shí)現(xiàn)了更好的均勻性和產(chǎn)出穩(wěn)定性、超大直徑石墨托盤可大幅提升客戶產(chǎn)能并降低成本；通過石墨盤晶片排布的最優(yōu)化，Prismo UniMax®的加工容量可以延伸至生長(zhǎng)164片4英寸或72片6英寸晶片。
中微公司表示，公司Prismo UniMax®MOCVD設(shè)備訂單已超180腔，是繼去年12月Prismo UniMax®MOCVD設(shè)備訂單超100腔以來公司取得的又一次重要突破，為公司未來更多的MOCVD產(chǎn)品開拓市場(chǎng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
目前，中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國(guó)際一線客戶從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用；開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)。
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